半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品材料的處理

半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品資料的處理
未運(yùn)用過的石墨制品資料發(fā)熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器材，因在機(jī)械加工時(shí)有石墨粉附著在石墨制品資料器材的表面或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質(zhì)浸人石黑孔隙中，為了避免在運(yùn)用中對(duì)半導(dǎo)體資料引起污染，在運(yùn)用前必須進(jìn)行預(yù)處理。
一種預(yù)處理方法是先將石墨器材在四氯化碳中浸泡數(shù)小時(shí)，然后用去離子水沖凈并烘干，在運(yùn)用溫度下真空煅燒3~4h，再保存起來待用。另二種預(yù)處理方法是將石墨器材放在王水里浸泡24h，取出后用去離子水煮沸屢次，首至溶液望中性為正。烘于后連同整套石墨器材裝在爐腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）進(jìn)行高溫處理h，其溫度應(yīng)稍高于工作溫度，冷卻后取出放人枯燥瓶待用。對(duì)運(yùn)用過的行題器材可愛善保管。再運(yùn)用時(shí)，可先用0號(hào)金相砂紙擦去表面層，再經(jīng)去離子水和無水酒精擦凈后烘干，即可運(yùn)用。