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用未燃燒的石油焦制成的石墨制品

作者:http://ystmm.com 發(fā)布時(shí)間:2024-04-10 16:37:22
用未燃燒的石油焦制成的石墨制品
    用未燃燒的石油焦制成的石墨制品,是二種機(jī)械強(qiáng)度很高的細(xì)粒結(jié)構(gòu)材料,可用于制造電子技能制品,如排期、薄板、因盤(pán)、真空爐和高頻電爐的加熱器、巡熱被、解泰她簽屬的石墨皿、高溫實(shí)驗(yàn)設(shè)備的操縱器(夾頭)、熱壓壓模和過(guò)濾器等。此種材料可用于懂性氣氛或保護(hù)性氣氛中在2500℃以下的溫度中作業(yè);在真空(10-~10mmHgo,中于2000℃以下可以作業(yè)良久。MIT-8石墨可制成異型制品。
    高純石墨制品是用于制造半導(dǎo)體技能設(shè)備的各種元件,它是以一般的結(jié)構(gòu)石墨在石墨化進(jìn)程頂用活性氣體凈化而成的。已凈化的石墨須在防止制品污染的條件下進(jìn)行機(jī)械加工。這種石墨(凈化后)的灰分不跨越1×10%,鐵、鋁、鎂的含量不應(yīng)跨越3×105%,銅、硼、錳的含量不應(yīng)跨越1×10%。上面這些約束雜質(zhì)含量都契合純潔級(jí)。在這些石墨里,硅鈣的含量不大于3×10(質(zhì)量%),。工業(yè)上還有純度更高的結(jié)構(gòu)石墨。用這種石墨制成的制品通過(guò)機(jī)械加工之后再進(jìn)行彌補(bǔ)凈化,以減少其外表感染的幾率。約束雜質(zhì)——鐵、鋁、鎂、硼、銅、錳的含量不許跨越1×10%,硅的含量不許跨越3×10-%,鈦、鎳、鉻及其他元素的含量應(yīng)少于1x10%。這些石墨的灰分在0~10*%。各種商標(biāo)特純石墨的物理力學(xué)功用。
    注:TM石墨的熱處理溫度為2700℃,其他各種商標(biāo)石墨的熱處理溫度為2800~3000℃。有保護(hù)層的特純高強(qiáng)石墨是由一般細(xì)結(jié)構(gòu)石墨通過(guò)凈化并在真空中脫氣,然后用熱解炭進(jìn)行外表增密處理而成的。其制品(加熱器、圓盤(pán)、石墨皿等)可用于以氣體外延成長(zhǎng)法制取硅薄膜。制品內(nèi)雜質(zhì)含量:鐵不跨越5×10*%,鋁不跨越2×10%,鎂和銅不跨越5x105%,鈦不跨越1×10*%,鎳和鉆不跨越1×10-%。
    熱解炭構(gòu)成的增密保護(hù)層的厚度不大于2mm。也可在通過(guò)增密處理的石墨制品的外表,還可以堆積厚度不跨越0.1mm的熱解石墨薄層。石墨制品經(jīng)熱解炭增密處理之后,其透氣性和氣