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石墨制品半導體燒結石墨載具加工

作者:http://ystmm.com 發(fā)布時間:2024-06-24 10:25:45

石墨制品半導體燒結石墨載具的加工進程觸及多個要害進程,以確保其高精度、高質量以及適用于半導體燒結工藝的特性。以下是加工進程的詳細進程:

一、石墨材料的選擇與處理

  1. 材料選擇:選擇結晶度高、雜質少、粒度均勻的石墨顆粒作為材料,以確保制品的功用。
  2. 預處理:對石墨材料進行清洗、單調(diào)等預處理,以去除雜質和水分,為后續(xù)的加工進程做好準備。

二、混合與造粒

  1. 配料:將石墨材料與適量的粘結劑、潤滑劑等混合,依照必定份額進行配料。
  2. 混合:經(jīng)過攪拌、捏合等工序,將配料混組成均勻的混合料?;旌线M程中需注意操控溫度和濕度,避免結塊和分層現(xiàn)象。
  3. 造粒:將混合后的石墨顆粒經(jīng)過造粒機處理,構成必定形狀和巨細的顆粒,以便于后續(xù)的成型和燒結。

三、成型

  1. 模具準備:準備相應的模具,確保模具的清潔和標準的準確性。
  2. 成型:將造粒后的石墨顆粒放入模具中,在必定的壓力和溫度下進行成型。成型進程中要堅持模具的清潔和標準的準確性,以確保制品的標準和形狀符合要求。
  3. 脫模與收拾:成型后的坯體需求進行脫模、收拾等工序,以去除剩余的雜質和毛刺。

四、燒結

  1. 燒結準備:將成型后的坯體放入燒結爐中,進行必要的預熱處理。
  2. 燒結:在必定的溫度和時刻下,對坯體進行燒結,以前進其致密度和安穩(wěn)性。燒結溫度和時刻是影響制品功用的重要因素,需求嚴峻操控。
  3. 冷卻與回火:燒結后的制品需求進行冷卻和回火處理,以安穩(wěn)其安排和功用。

五、后處理

  1. 表面處理:對燒結后的制品進行表面處理,如機械研磨、化學拋光等,以前進其表面光潔度和耐腐蝕性。
  2. 質量檢測:對加工結束的半導體燒結石墨載具進行質量檢測,包括外觀、標準、密度、硬度、導熱性等方針,確保其功用符合要求。

六、包裝與存儲

  1. 包裝:將檢測合格的石墨制品半導體燒結石墨載具進行包裝,以保護其表面免受損壞。
  2. 存儲:將包裝好的石墨制品半導體燒結石墨載具存放在單調(diào)、通風的環(huán)境中,避免受潮和污染。

總結來說,石墨制品半導體燒結石墨載具的加工進程是一個雜亂的系統(tǒng)工程,觸及材料選擇、混合造粒、成型、燒結、后處理以及質量檢測等多個環(huán)節(jié)。經(jīng)過嚴峻的工藝流程和質量操控,可以生產(chǎn)出滿足半導體燒結工藝要求的高質量石墨載具。

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石墨制品半導體燒結石墨載具